.245
a	Fabrikasi fotoreseptor berbasis lapisan tipis a-Si
b	: H dan paduannya dengan reaktor PECVD ganda
h	Tugas Akhir Thesis-ITB
.100
a	SUARDANA, I Kade
.005
a	20070730123310
.260
a	Bandung
b	Program Magister Fisika PPS-ITB
c	1999
.084
a	530.417 5 SUA
.300
a	v, 48 lemb.: gamb., tab.
b	21 cm.
c	v, 48 lemb.: gamb., tab.; 21 cm.
.336
a	Tugas Akhir Thesis-ITB